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「SEMICON Japan 2014」は世界最大の半導体製造装置・材料の総合展示会。 半導体製造装置・材料に関わるすべての製品・技術・サービスが網羅されている。 会期は2014年12月3日(水)~5日(金)の3日間。会 [...]


[SEMICON Japan 2014] 高精度表面形状測定システム「Dyvoce」 – 神津精機株式会社

神津精機株式会社はSEMICON Japan 2014にて、高精度表面形状測定システム「Dyvoce」を出展。 ウエハ・フラットパネルのそり・たわみの評価ができ、ウエハに合わせてステージサイズがカスタマイズ対応可能な測定システムを紹介。 Website:http://www.kohzu.co.jp/i/


[SEMICON Japan 2014] 省エネ精密空調機「PAP SERIES」 – オリオン機械株式会社

オリオン機械株式会社はSEMICON Japan 2014にて、省エネ精密空調機「PAP SERIES」を出展。 局所精密空調に向けた高レベルな温湿度・クリーン環境を作る精密空調機を紹介。 Website:http://www.orionkikai.co.jp/


[SEMICON Japan 2014] シャトル搬送システム – 株式会社レクザム

株式会社レクザムはSEMICON Japan 2014にて、シャトル搬送システムを出展。 シャトル装置とリニアロボットを利用した、縦方向に多段設置が可能なウエハ搬送システムを紹介。 Website:http://www.rexxam.co.jp/



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